真空除氧器主要由除氧器（除氧塔與除氧水箱），羅旋水噴射真空泵機(jī)組、引水泵機(jī)組等三部分設(shè)備組成。
1、真空除氧器除氧塔
　　除氧塔內(nèi)裝有銅制作霧化噴頭，每只噴頭處理水量恒定，從而得到適合的噴霧效果。塔內(nèi)裝有填料層、傳質(zhì)塊，親水性能好。霧化的結(jié)果大大增加了水的脫氣面積，當(dāng)霧化的水滴繼續(xù)流經(jīng)無規(guī)則堆放的填料層時(shí)，進(jìn)一步加強(qiáng)了脫氣效果。因此，雖然水在脫氣塔內(nèi)停留的時(shí)間很短，然而除氧效果很好。
2、真空除氧器除氧水箱
　　除氧器運(yùn)行時(shí)，水箱內(nèi)處于負(fù)壓。因此在高位安裝時(shí)，水箱出口處與鍋爐給水泵進(jìn)口之間的凈距離不得小于11米。在低位安裝時(shí)（水箱出水口與鍋爐給水泵在同一高度），水箱出水口要接上引水泵機(jī)組，使負(fù)壓水升壓后進(jìn)入鍋爐給水泵，水箱上裝有人孔，便于維修保養(yǎng)時(shí)使用。
3、水噴射真空泵機(jī)組
　　真空除氧器泵組由水噴射真空泵、循環(huán)水箱、離心泵組成。離心泵將循環(huán)水通過噴嘴造成高速水流而產(chǎn)生真空。本水噴射真空除氧裝置可利用軟化兼作循環(huán)水，溫度不會(huì)升高，因而可得到較高的真空度，提高除氧效果。方法是利用原有的軟化水水箱兼作循環(huán)水箱，節(jié)約設(shè)備及占地面積。
4、引水泵機(jī)組
　　在除氧器低位安裝時(shí)使用，通過該泵將負(fù)壓的除氧水升壓后進(jìn)入鍋爐給水泵。